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Journal of the Korean Chemical Society (JKCS)

ISSN 1017-2548(Print)
ISSN 2234-8530(Online)
Volume 39, Number 8
JKCSEZ 39(8)
April 20, 1995 

Instrument Transmission and Background Subtraction Influences on XPS Quantification

X-선광전자분광법에서 기기의 Transmission 과 배경제거방법이 정량분석에 미치는 영향
Chul-Un Ro

서로 다른 형태의 전자분석기를 장착하고 있는 두 개의 X-선광전자분광기기를 사용하여 기기의 transmission과 배경제거방법이 X-선광전자분광법의 정량분석에 미치는 영향을 연구하였다. 기기의 transmission function을 보정해 주었을 때, 상대적 광전자 피크의 세기는 보정하지 않았을 때보다 2.4배 정도 재현성이 좋아졌다. 배경제거방법이 광전자 피크의 세기를 구하는데 미치는 영향을 알기 위하여 linear 방법, Shirley의 방법, Tougaard의 방법과 되산란되는 전자스펙트럼을 이용하는 deconvolution방법을 비교한 결과, 각각의 방법은 비슷한 결과를 보였다.

Using two XPS instruments with different types of electron analyzer, effects of transmission functions of the instruments and employing various background subtraction methods on XPS quantification were considered. With corrections for the energy dependence of the spectrometer transmission functions, variations of photoelectron intensity ratios for various samples were reduced by a factor of 2.4 between the instruments. Photoelectron intensity values were compared using various background subtraction methods: linear, Shirley's, Tougaard's, and a deconvolution method using a backscattered electron energy loss spectrum. The application of each method resulted in similar variations, with no apperent systematic differences.

617 - 626
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